электронные словари русского языка
эпитафия
эпитаксиальный

эпита́ксия

и, только ед., ж.

[< греч. ерi... на, над + taxis строй, порядок]

1. Физ.Ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки); технология послойного выращивания кристаллических тел в соответствии с кристаллической структурой подложки.

Эпитаксия наблюдается при коррозии. Процессы эпитаксии кремния. Молекулярно-лучевая эпитаксия в сверхвысоком вакууме. Газофазная эпитаксия применяется для выращивания большинства полупроводниковых материалов. Жидкофазная эпитаксия в атмосфере азота и водорода. Эпитаксия используется в микроэлектронике, квантовой электронике, в устройствах интегральной оптики, в вычислительной технике. Твердофазная эпитаксия

(при которой сначала при пониженной температуре осаждается неупорядоченная пленка, после чего проводится ее кристаллизация при более высоких температурах).