электронные словари русского языка
фотолитогра́фия
[< греч. phos, photos свет + lithos камень + grapho рисовать]
1. Спец.Литография (1 зн.), основанная на выращивании на поверхности полупроводникового материала слоя окисла, на который наносят тонкий слой особого светочувствительного состава, и экспонировании светочувствительного слоя через специальный трафарет; оптическая литография.
Проекционная фотолитография. Стандартная фотолитография проводится в спектральном диапазоне 310-450 нанометров.
Данные других словарей
|
Под ред. С. А. Кузнецова 
|
фотолитогра́фия-и; ж.
1. Литография, основанная на применении фотографии, когда рисунок, изображение с негатива наносится на литографический камень или металлическую пластинку, покрытые светочувствительным слоем. 2. Оттиск с литографической печатной формы, изготовленной таким способом. Цветная ф.< Фотолитографи́ческий, -ая, -ое. Ф. способ. Ф-ое издание. |
|
|
М. Л. Каленчук, Р. Ф. Касаткина 
|
фотолитогра́фия [фо]то-
|
